| 薄膜镀层的XRD分析 |
| |
| 引用本文： | 黄清明,俞建长,吴万国. 薄膜镀层的XRD分析[J]. 福州大学学报(自然科学版), 2004, 32(6): 773-775 |
| |
| 作者姓名： | 黄清明 俞建长 吴万国 |
| |
| 作者单位： | 1. 福州大学测试中心,福建,福州,350002
2. 福州大学材料科学与工程学院,福建,福州,350002 |
| |
| 摘 要： | 利用X射线多晶衍射和计算机模拟的方法对薄膜镀层的物相成分、晶粒度大小、膜厚度、粗糙度、膜密度、吸收系数、折射因子进行测试分析,分析结果表明采用此方法对薄膜进行分析准确度高,速度快.
|
| 关 键 词： | X射线衍射 薄膜 分析 |
| 文章编号： | 1000-2243(2004)06-0773-03 |
| 修稿时间： | 2004-02-16 |
X-ray diffraction analyzing of thin cladding material |
| |
| HUANG Qing-ming,YU Jian-chang,WU Wan-guo. X-ray diffraction analyzing of thin cladding material[J]. Journal of Fuzhou University(Natural Science Edition), 2004, 32(6): 773-775 |
| |
| Authors: | HUANG Qing-ming YU Jian-chang WU Wan-guo |
| |
| Affiliation: | HUANG Qing-ming~1,YU Jian-chang~2,WU Wan-guo~1 |
| |
| Abstract: | By using X ray polycrystalline diffraction and method of computer simulation analyzing the phase components of thin film, grain size, thickness, roughness, density, coefficient of absorbing and refractive index were analyzed. The results indicate that this method of the film analyzing is good accuracy and fast. |
| |
| Keywords: | X-ray diffraction thin film analyse |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《福州大学学报(自然科学版)》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《福州大学学报(自然科学版)》下载免费的PDF全文 |
