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| 薄膜科学研究进展 | |
| 作者姓名： | 李林 |
| 作者单位： | 中国科学院物理研究所!中科院，北京，100080 |
| 摘 要： | 薄膜科学在物理学与材料学科中已形成了一门分支学科。特别是半个世纪以来，电子学的发展需要新器件和新材料的突破，薄膜科学就是开发新材料和新器件非常重要的领域。电子器件的尺寸越来越小，40年代的真空管器件是几十厘米大小，60年代的器件是毫米大小，80年代的超大规模集成电路中的器件是微米大小，到2000年分子电子器件将是纳米量级的。这就要求研究亚微米和纳米的薄膜制备技术，并利用亚微米和纳米结构的薄膜制备各种新型功能器件。所有固体材料都能制成薄膜型材料，而薄膜是二维的，现在工业上所用的薄膜都是极薄的，从几十纳米到微… |
| 关 键 词： | 薄膜科学 研究进展 硬质薄膜 功能薄膜 薄膜 |
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