谐振法探测平板层流DBD的放电装置电特性 |
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引用本文: | 周恒智,陈静秋.谐振法探测平板层流DBD的放电装置电特性[J].中国西部科技,2007(3). |
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作者姓名: | 周恒智 陈静秋 |
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作者单位: | 深圳大学,广东深圳518060 |
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摘 要: | 功率较大、频谱较宽的射频电源是DBD放电的关键设备,射频电源的功率和频谱宽度成为了研究DBD放电的瓶颈。本文利用手边的先进的射频电源,利用反向设计的思路,谈讨射频电源的设计要求。用谐振法测量平板放电设备谐振频率和射频电源的等效电感。
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关 键 词: | 射频电源 谐振频率 反向设计 |
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