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| 离子注入—直流辉光放电等离子体制备Ti6A14V—TiN—TiC生？… | |
| 引用本文： | 王红卫,陈旭.离子注入—直流辉光放电等离子体制备Ti6A14V—TiN—TiC生？…[J].苏州大学学报(医学版),1999,15(1):70-74. |
| 作者姓名： | 王红卫 陈旭 |
| 作者单位： | [1]苏州大学化学化工学院 [2]成都工具研究所化学涂层室 |
| 摘 要： | 本文采用离子注入，等离子体氮化和等离子体ＣＶＤ相结合的技术，制备梯度材料，解决了常规气相沉积方法难以实现金属基体到陶瓷涂层薄膜的梯度化问题。 |
| 关 键 词： | 离子注入 等离子体 CVD 生物梯度材料 钛合金 |
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