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| 新型倾角传感器设计 | |
| 引用本文： | 张延豫,时振彬,李士光,陈明文.新型倾角传感器设计[J].科技咨询导报,2013(22):63-63. |
| 作者姓名： | 张延豫 时振彬 李士光 陈明文 |
| 作者单位： | 山东黄河工程集团有限公司,山东济南250013 |
| 摘 要： | 该文利用石英晶片的压电特性，针对传统倾角传感器的缺点，提出了一种新型的倾角传赢器设计方法。应用本文提出的设计方法设计出的传感器与其他传意器相比具有体积小，灵敏度高，抗干扰能力强等优点。同时对传感器的原理，结构，信号处理电路进行了分析。 |
| 关 键 词： | 石英晶片 倾角传感器 MEMS加工技术 |
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