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| 分段隧道式循环热风石英坩埚干燥系统 | |
| 作者姓名： | 刘爱军 陈宝昌 乔元峰 金军 李鹏飞 |
| 作者单位： | 江苏华尔光电材料股份有限公司,江苏扬州,225600 |
| 基金项目： | 科技型中小企业技术创新基金(编号:10C26213201003) |
| 摘 要： | 本文介绍了一种隧道式石英坩埚干燥系统,采用循环热风进行加热,可以实现程序分段控温,使清洗后的石英坩埚分别经过低温干燥、中温干燥和高温干燥,从而使石英坩埚逐步加热到后续工序的生产要求。 |
| 关 键 词： | 石英坩埚 分段干燥 隧道式 循环热风 |
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