| Co、 Al共掺杂ZnO靶材溅射过程中离子与固体相互作用的模拟 |
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| 引用本文： | 傅金彪,吴 波,张朝辉,刘海龙,韩维儒.Co、 Al共掺杂ZnO靶材溅射过程中离子与固体相互作用的模拟[J].福州大学学报(自然科学版),2010,38(4):552-556. |
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| 作者姓名： | 傅金彪 吴 波 张朝辉 刘海龙 韩维儒 |
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| 作者单位： | 福州大学材料科学与工程学院， 福建 福州 350108;福州大学材料科学与工程学院， 福建 福州 350108;福州大学材料科学与工程学院， 福建 福州 350108;福州大学材料科学与工程学院， 福建 福州 350108;北京有色金属研究总院， 北京 100088 |
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| 摘 要： | 根据随机碰撞过程中的级联碰撞原理,跟踪载能粒子在固体内的慢化过程,选用SRIM2008软件模拟了Co、Al共掺杂ZnO靶材在溅射过程中离子与固体相互作用.研究了溅射过程原子的选择性溅射现象,溅射原子的能量、角度分布情况,得出ZnO基靶材溅射过程中离子与固体相互作用的规律.欲获得成分接近Zn0.85Co0.1Al0.05O的薄膜,最佳的溅射工艺条件为:Ar+离子以68°的角度入射,靶材成分采用Zn0.7Co0.23Al0.07O.
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| 关 键 词： | ZnO Co Al 溅射 掺杂 离子 固体 |
Simulation of interaction between ions and solids in (Co, Al) co-doped ZnO sputtering target |
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| FU Jin-biao,WU Bo,ZHANG Chao-hui,LIU Hai-long and HAN Wei-ru.Simulation of interaction between ions and solids in (Co, Al) co-doped ZnO sputtering target[J].Journal of Fuzhou University(Natural Science Edition),2010,38(4):552-556. |
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| Authors: | FU Jin-biao WU Bo ZHANG Chao-hui LIU Hai-long and HAN Wei-ru |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO Co Al sputtering doping ion solid |
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