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脉冲激光沉积YBa_2Cu_3O_(7-δ)薄膜表面形态研究
作者姓名:关效贤  田坚  鲤沼秀臣  吉本
作者单位:长春光学精密机械学院!长春,130022,长春光学精密机械学院!长春,130022,日本东京工业大学工业材料研究所!横浜,227,日本东京工业大学工业材料研究所!横浜,227
摘    要:用脉冲激光沉积法,在SrTiO3基板上获得YBa2Cu3O7-δ超导薄膜.对其超导性能、晶体结构、原子尺度的平面形态和均匀性等进行研究.观察到YBa2Cu3O7-δ超导薄膜的原子图像.

关 键 词:YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜  脉冲激光沉积  表面形态
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