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| 溶胶电泳沉积法制备PZT压电薄膜 | |
| 引用本文： | 魏长松,周静,徐玲芳,陈文.溶胶电泳沉积法制备PZT压电薄膜[J].四川大学学报(自然科学版),2005(Z1). |
| 作者姓名： | 魏长松 周静 徐玲芳 陈文 |
| 作者单位： | 武汉理工大学材料科学与工程学院 武汉理工大学材料科学与工程学院 武汉 |
| 摘 要： | 用溶胶电泳沉积法制备出了Pb(Zr0.52Ti0.48)O3压电薄膜,分析了溶胶浓度和电极电压等因素对薄膜制备的影响.实验结果表明浓度为0.2～0.3mol/L,pH值为3.5～4的溶胶适于电泳,外加电压约为1V左右可以在阴极ITO玻璃上得到纯净、钙钛矿结构的PZT薄膜. |
| 关 键 词： | 溶胶 电泳沉积 PZT 压电薄膜 |
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