薄膜电阻传感器(ρck)~(1/2)值标定精度的实验研究

本文分析讨论了薄膜电阻传感器■值的电脉冲标定技术及其标定关系式。着重探讨了引起■值测量误差的各种因素,找到了提高标定精度的一些途径和方法。本文解决了文献[3]提出的一个难点,即低标定温升会引起△V～t曲线的信噪比变坏,以致限制了标定精度的进一步提高。由于这一问题的解决,提高了信噪比,获得了低标定温升下的光滑曲线,再加以其它措施,使传感器■值的标定精度可达到±5%以内。