| 基底材料对Sol-Gel法制备BST薄膜结晶的影响 |
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| 引用本文： | 刘敬,周宗辉.基底材料对Sol-Gel法制备BST薄膜结晶的影响[J].济南大学学报(自然科学版),2009,23(2). |
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| 作者姓名： | 刘敬 周宗辉 |
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| 作者单位： | 济南大学,材料科学与工程学院,山东,济南,250022 |
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| 摘 要： | 以醋酸锶、醋酸钡和钛酸四丁酯为前驱体原料,采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法,利用旋转涂覆工艺,在不同基底上制备组分为摩尔分数xBa= 0.65, xSr=0.35的(Ba0.65,Sr0.35)TiO3薄膜.用XRD和SEM分析薄膜的组成和表面形貌,研究基底材料对BST薄膜晶化行为及结构的影响.结果表明,经650℃热处理后,BST薄膜在硅基底上已基本形成ABO3型钙钛矿结构,晶粒发育较好,表面光滑致密;BST薄膜与硅基底的晶格匹配度比与玻璃和刚玉基底高;经刚玉粉处理过的硅基底和镀有ZnO薄膜的硅基底能够在一定程度上诱导薄膜生长.
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| 关 键 词： | 基底 |
Effect of Substrates and Temperature on Barium Strontium Titanate Thin Films Prepared by Sol-Gel Method |
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| LIU Jing,ZHOU Zong-hui.Effect of Substrates and Temperature on Barium Strontium Titanate Thin Films Prepared by Sol-Gel Method[J].Journal of Jinan University(Science & Technology),2009,23(2). |
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| Authors: | LIU Jing ZHOU Zong-hui |
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| Institution: | School of Material Science and Engineering;University of Jinan;Jinan 250022;China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | BST Sol-Gel |
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