| 不锈钢管道溅射镀TiN薄膜实验研究 |
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| 引用本文： | 王勇,张耀锋,尉伟,王建平,范乐,蒋道满,朱存宝,刘祖平. 不锈钢管道溅射镀TiN薄膜实验研究[J]. 中国科学技术大学学报, 2007, 37(4): 509-513 |
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| 作者姓名： | 王勇 张耀锋 尉伟 王建平 范乐 蒋道满 朱存宝 刘祖平 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230029 |
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| 摘 要： | 在不锈钢管道溅射镀膜装置上，通过对不锈钢管道真空室进行溅射镀TiN膜的反复多次实验及对镀膜实验结果的分析，得到了一整套适用于加速器管道真空室内壁溅射镀TiN膜的表面处理参数．实验结果表明，在压强为80～90Pa、基体温度为160～180℃的镀膜参数下，不锈钢管道内壁能获得符合加速器物理要求的TiN薄膜．
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| 关 键 词： | 直流溅射 TiN膜 真空室镀膜 表面处理 |
| 文章编号： | 0253-2778（2007）04＆05-0509-05 |
| 修稿时间： | 2006-12-252007-03-27 |
Experimental studies on TiN film sputter coating on the inner face of stainless steel pipe |
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| WANG Yong,ZHANG Yao-feng,WEI Wei,WANG Jian-ping,FAN Le,JIANG Dao-man,ZHU Cun-bao,LIU Zu-ping. Experimental studies on TiN film sputter coating on the inner face of stainless steel pipe[J]. Journal of University of Science and Technology of China, 2007, 37(4): 509-513 |
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| Authors: | WANG Yong ZHANG Yao-feng WEI Wei WANG Jian-ping FAN Le JIANG Dao-man ZHU Cun-bao LIU Zu-ping |
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| Affiliation: | National Synchrotron Radiation Laboratory, University of Science and Technology of China, Hef ei 230029, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | DC sputtering TiN film vacuum chamber coating surface treatment |
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