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| SiC表面的氢钝化 | |
| 引用本文： | 王海波.SiC表面的氢钝化[J].科技资讯,2011(23):76-77. |
| 作者姓名： | 王海波 |
| 作者单位： | 滨州职业学院,山东滨州,256603 |
| 摘 要： | 本文在对比SiC和Si结构差别的基础上,总结了当今现在比较流行的氢钝化工艺,如沸水、沸氟化氢、氢气退火、等离子体处理等,并简要介绍了各自工艺的特点和不足。 |
| 关 键 词： | SiC 表面处理 氢钝化 氢气 退火 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |
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