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晶体生长温控仪的程控化改造
引用本文:曾晓兰.晶体生长温控仪的程控化改造[J].四川师范大学学报(自然科学版),1999,22(5):579-582.
作者姓名:曾晓兰
作者单位:四川师范大学,固体物理所,四川,成都,610066
摘    要:对提拉法晶体生长中所使用的温度控制仪器DWT七0 二精密温度自动控制仪进行程序化改造.改装后的程序化控制系统对本拉晶工艺适用,方便,降低了操作人员的劳动强度,改善了晶体的质量

关 键 词:晶体生长  温度控制  程序控制
文章编号:1001-8395(1999)05-0579-04
修稿时间::1999-06-1

Transform the Temperature Control Instrument for Crystal Growth to Program-Controlled Instrument
ZENG Xiao-lan.Transform the Temperature Control Instrument for Crystal Growth to Program-Controlled Instrument[J].Journal of Sichuan Normal University(Natural Science),1999,22(5):579-582.
Authors:ZENG Xiao-lan
Abstract:The temperature control instrument DWT 702 for crystal growth of Czochralski method is transformed to program controlled instrument. It is very applicable and convenient for our crystal growth technology. The work intensity is declined. The crystal quality is improved.
Keywords:Crystal growth  Temperature control  Program control
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