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小圆面非平衡磁控原子源研究
引用本文:郑思孝.小圆面非平衡磁控原子源研究[J].四川大学学报(自然科学版),1992,29(4):580-582.
作者姓名:郑思孝
作者单位:四川大学原子核科学技术研究所
摘    要:在文1—6]的基础上,研制了小圆面非平衡磁控源,取得了同轴圆柱磁控原理用于平面磁控源并达到实用的小型化。1 源的结构

关 键 词:非平衡  磁控原子源  磁控放电
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