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离子束溅射制备的C-N薄膜
作者姓名:()田永君  ()任学军  ()于栋利  ()何巨龙  ()曾华荣  ()陈世镇  ()李东春  ()禹日成  ()张明  ()张君  ()王文魁
作者单位:燕山大学材料系,燕山大学材料系,燕山大学材料系,燕山大学材料系,燕山大学材料系,燕山大学材料系,燕山大学材料系,中国科学院物理研究所,中国科学院物理研究所,中国科学院物理研究所,中国科学院物理研究所 秦皇岛 066004,秦皇岛 066004,秦皇岛 066004,秦皇岛 066004,秦皇岛 066004 中国科学院上海硅酸盐研究所,上海 200050,秦皇岛 066004,秦皇岛 066004,北京 100080,北京 100080,北京 100080,北京 100080
摘    要:Liu和Cohen采用经验模型和从头计算法计算了假想结构共价键化合物β-C_3N_4的弹性模量和结构性能。结果表明:该种共价键化合物的弹性模量与金刚石相当,其结构至少是亚稳态的,该种材料不仅具有高硬度,而且具有良好的导热性和热稳定性。为此,这种新型超硬材料受到了普遍关注,人们开始采用不同的实验方法合成β-C_3N_4.Wixom利用含氮的有机化合物进行冲击波合成,结果只得到了一些金刚石颗粒;Maya等人采用几种含氮的有机化合物进行高温热解,也未观察到碳氮成键的迹象。采用磁控溅射法合成β-C_3N_4时,得到的是非晶的C-N薄膜,其中含有极少量的纳米晶体。最近,Niu等人报道:采用脉冲激光蒸发高纯石墨并通进原子氮可制备出含有β-C_3N_4晶相的碳氮薄膜,薄膜中的氮含量可以达到40%。Gouzman等人采用低能氮离子注入到石墨表面,结果观察到氮的化合态,说明了β-C_3N_4的存在。

关 键 词:薄膜 离子束溅射 制备 C-N薄膜
收稿时间:1995-07-17
修稿时间:1995-11-29
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