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| TiO2薄膜厚度及其光学常数的测量 | |
| 引用本文： | 王德育,袁春伟.TiO2薄膜厚度及其光学常数的测量[J].东南大学学报(自然科学版),1999,29(5):105-108. |
| 作者姓名： | 王德育 袁春伟 |
| 作者单位： | 东南大学分子与生物分子电子学实验室!南京210096 |
| 摘 要： | 描述了非线性回归模型在ＴｉＯ２薄膜的光学常数及其厚度测量中的应用。利用薄膜在可见光范围内的光谱特性使用曲线拟合技术对它的光学常数进行了测量。研究结果表明，这种方法可能简单、高效地应用于对薄膜厚度及其光学常数的测量。 |
| 关 键 词： | 非线性 回归模型 薄膜 光学常数 二氧化钛 测量 |
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