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| 上海市集成电路产业技术创新服务平台：提高创“芯”力，让“散装”变“精装” | |
| 摘 要： | 上海市集成电路产业技术创新平台在推动企业发展，服务产业升级中取得了明显成效。为上海华力生产线的建设提供技术支持；协助上海先进半导体公司建立特色工艺技术平台，使其成为目前国内主要的汽车电子生产基地；与浙江大立公司合作开发非制冷式红外MEMS芯片制造工艺技术，带动企业及产业发展；为上海光刻机中心开发100nm光刻机（样机）... |
| 关 键 词： | 集成电路产业 服务平台 上海市 技术创新 制造工艺技术 精装 散装 企业发展 |
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