| 吸收膜椭偏测量中的入射角选择 |
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| 引用本文： | 丁兰英,王志刚.吸收膜椭偏测量中的入射角选择[J].山东大学学报(理学版),1986(1). |
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| 作者姓名： | 丁兰英 王志刚 |
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| 作者单位： | 山东大学光学系
(丁兰英)，山东大学光学系(王志刚) |
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| 摘 要： | 本文以差商代替偏导数,利用计算机近似地模拟计算了两种环境一吸收膜一基板系统椭偏角φ、△与反射率R对于膜系参量n_0、k_0、n_1、k_1、d_1、n_2、k_2的偏导数,以及这些偏导数对于入射角φ_0的依赖关系,并以此为基础,讨论吸收膜椭偏测量中的最佳入射角选择问题。
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| 关 键 词： | 椭偏测量 吸收膜 入射角选择 |
THE SELECTION OF THE ANGLE OF INCIDENCEIN ELLIPSOMETRY OF ABSORBING FILMS |
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| Ding Lanying,Wang Zhigang.THE SELECTION OF THE ANGLE OF INCIDENCEIN ELLIPSOMETRY OF ABSORBING FILMS[J].Journal of Shandong University,1986(1). |
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| Authors: | Ding Lanying Wang Zhigang |
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| Institution: | Ding Lanying;Wang Zhigang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ellipsometry absorbing film incidence angle selection |
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