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| 低温PL光谱测定硅中的硼磷含量 | |
| 引用本文： | 王昌平 ,刘彬 ,吴晓毅 ,苏九令 ,缪伯才 ,钱佑华.低温PL光谱测定硅中的硼磷含量[J].复旦学报(自然科学版),1985(3). |
| 作者姓名： | 王昌平 刘彬 吴晓毅 苏九令 缪伯才 钱佑华 |
| 摘 要： | 随着大规模集成电路、大功率器件、高灵敏探测器……的发展,人们对硅材料的质量提出了高要求.根据常规的电学测量方法,只能得到载流子的浓度,不能测出杂质的种类以及补偿度.硅中重金属元素以及氧、氮、碳等杂质的测量目前虽已有了成熟的测试方 |
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