| 压阻式压力传感器C型结构偏差的有限元分析 |
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| 引用本文： | 吴坚民,唐祯安.压阻式压力传感器C型结构偏差的有限元分析[J].大连理工大学学报,1995,35(4):540-543. |
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| 作者姓名： | 吴坚民 唐祯安 |
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| 作者单位： | 大连理工大学传感技术研究所 |
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| 基金项目： | 国家“八五”科技攻关项目 |
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| 摘 要： | 为提高Ｃ型压力传感器性能，利用有限元方法，对Ｃ型结构传感器加工过程中出现的边缘Ｒ角、膜厚不均匀、双面对准偏差进行计算与分析。其结果表明控制工艺偏差是研制高性能传感器的基础。
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| 关 键 词： | 压力传感器 有限元分析 压阻 结构偏差 |
Analysis of structural deviation of C-type piezoresistive pressure sensors using the finite element method |
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| Abstract: | In order to improve the quality of prezoresistive pressure sensors,the authors applythe method of finite element to the calculation and analysis of the structural effect,such as theangle R on the edge of diaphragm,the ununiformity of the diaphragm thickness, and deviation ofdouble-side mask alinement which occur during the processing of C-type sensors. The resultshows that controlling the deviation is the baseis of high-quality sensors. |
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| Keywords: | pressure sensors finite element analysis/piezoresistive structural deviaiton |
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