压阻式压力传感器C型结构偏差的有限元分析 |
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引用本文: | 吴坚民 唐祯安. 压阻式压力传感器C型结构偏差的有限元分析[J]. 大连理工大学学报, 1995, 35(4): 540-543 |
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作者姓名: | 吴坚民 唐祯安 |
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作者单位: | 大连理工大学传感技术研究所 |
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基金项目: | 国家“八五”科技攻关项目 |
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摘 要: | 为提高C型压力传感器性能,利用有限元方法,对C型结构传感器加工过程中出现的边缘R角、膜厚不均匀、双面对准偏差进行计算与分析。其结果表明控制工艺偏差是研制高性能传感器的基础。
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关 键 词: | 压力传感器 有限元分析 压阻 结构偏差 |
Analysis of structural deviation of C-type piezoresistive pressure sensors using the finite element method |
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Abstract: | In order to improve the quality of prezoresistive pressure sensors,the authors applythe method of finite element to the calculation and analysis of the structural effect,such as theangle R on the edge of diaphragm,the ununiformity of the diaphragm thickness, and deviation ofdouble-side mask alinement which occur during the processing of C-type sensors. The resultshows that controlling the deviation is the baseis of high-quality sensors. |
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Keywords: | pressure sensors finite element analysis/piezoresistive structural deviaiton |
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