| 微小尺寸测量中的图像处理技术 |
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| 引用本文： | 李罗生,白立芬,李庆祥,于水,何存富. 微小尺寸测量中的图像处理技术[J]. 清华大学学报(自然科学版), 2001, 41(8): 45-48 |
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| 作者姓名： | 李罗生 白立芬 李庆祥 于水 何存富 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器及机械学系; |
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| 基金项目： | 高等学校重点实验室访问学者基金资助项目 |
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| 摘 要： | 图像质量是影响光学显微系统微小尺寸测量精度的一个重要原因。介绍了测量系统的组成和工作原理 ,以及光学系统设计上保证成像质量的一些措施 ,探讨了提高图像质量和测量精度的方法。采用小波进行图像去噪 ,很好地去除了图像传输和存储过程中引入的高频噪声 ;为了进一步提高测量精度 ,采用同相累加平均的方法 ,滤除随机信号的影响。实验结果表明可满足超大规模集成电路线宽测量的要求 ,测量重复精度达到了 0 .0 1μm。
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| 关 键 词： | 微小尺寸测量 小波变换 同相多次累积 去噪 |
| 文章编号： | 1000-0054(2001)08-0045-04 |
| 修稿时间： | 2000-07-17 |
Image processing technique for microstructure measurement system |
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| LI Luosheng,BAI Lifen,LI Qingxiang,YU Shui,HE Cunfu. Image processing technique for microstructure measurement system[J]. Journal of Tsinghua University(Science and Technology), 2001, 41(8): 45-48 |
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| Authors: | LI Luosheng BAI Lifen LI Qingxiang YU Shui HE Cunfu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro structure measurement wavelet transform multi accumulation in phase denoising |
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