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| ZnO压电薄膜的多晶模型研究 | |
| 作者姓名： | 章晓中 赵明洲 |
| 作者单位： | 同济大学 |
| 摘 要： | 本文考虑了ZnO压电薄膜的晶格畸变和多晶结构,建立了ZnO压电薄膜的多晶膜模型,计算了ZnO/K9 glass和ZnO/fused quartz的SAW速度和有效机电耦合系数,测量了ZnO/K9 glass的SAW速度v0和v1,结果表明:多晶模型的计算值与实验值较接近,比单晶模型的结果有明显改善.计算结果还表明:分散度σ<6°时它对ZnO膜的SAW性能影响较小,而晶格畸变对SAW性能影响较大. |
| 收稿时间： | 1984-10-16 |
| 修稿时间： | 1985-05-10 |
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