| 基于体硅工艺的微反射镜的原理性实验 |
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| 引用本文： | 王子旸,徐永青,杨拥军,尤政,任大海. 基于体硅工艺的微反射镜的原理性实验[J]. 清华大学学报(自然科学版), 2004, 44(8): 1057-1060 |
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| 作者姓名： | 王子旸 徐永青 杨拥军 尤政 任大海 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084;中国电子科技集团电子第十三研究所,石家庄,050002 |
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| 基金项目： | 国家重点实验室基金资助项目 |
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| 摘 要： | 基于体硅工艺的微反射镜具有体积小、质量轻、驱动电压低、偏转角度大等优点,在激光敌我识别和光通信等领域都有着广泛的应用。该文设计了一种基于体硅工艺的微反射镜,其偏转角度可以通过驱动电压控制;对这种结构建立了理论模型,对吸合电压、吸合角度和固有频率进行了分析;简要介绍了这种微反射镜的加工工艺;并对微反射镜样机做了原理性实验研究。微反射镜镜面面积为1240μm×980μm,最大偏转角度约为2.6°,吸合电压约为27V,固有频率为750Hz左右。
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| 关 键 词： | 物理光学仪器 微光机电系统 微反射镜 激光 |
| 文章编号： | 1000-0054(2004)08-1057-04 |
| 修稿时间： | 2003-10-27 |
Experimental study on characteristics of bulk micromachined micromirror |
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| WANG Ziyang,XU Yongqing,YANG Yongjun,YOU Zheng,REN Dahai. Experimental study on characteristics of bulk micromachined micromirror[J]. Journal of Tsinghua University(Science and Technology), 2004, 44(8): 1057-1060 |
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| Authors: | WANG Ziyang XU Yongqing YANG Yongjun YOU Zheng REN Dahai |
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| Affiliation: | WANG Ziyang~1,XU Yongqing~2,YANG Yongjun~2,YOU Zheng~1,REN Dahai~1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | physical optical instrument micro-opto-electro- mechanical system (MOEMS) micromirror laser |
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