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| 微电子机械系统 | |
| 引用本文： | 陈迪.微电子机械系统[J].科学,2008,60(6). |
| 作者姓名： | 陈迪 |
| 摘 要： | 微电子机械系统(Micro Electro Mechanical Sys-tem)简称MEMS,是集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理控制电路、接口、电源等于一体的机械装置. |
| 关 键 词： | 微电子机械系统 微系统技术 微传感器 |
Micro Electro Mechanical Systems and its Applications |
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| Authors: | Chen Di |
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