|
|||||
|
|
| Mg掺杂ZnO薄膜的晶体结构分析 | |
| 作者姓名： | 代红丽 王洛欣 秦云 |
| 作者单位： | 天津理工大学电子信息工程学院;西北大学电子科学系 |
| 基金项目： | 天津理工大学青年教师科研育苗基金(LGYM201002) |
| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶工艺在Si(111)衬底上制备了MgxZn1-xO薄膜,利用X射线衍射仪对薄膜的晶体结构进行了分析讨论.结果表明,当掺杂量Mg2+浓度增大时,衍射峰向大角度方向移动;但MgxZn1-xO薄膜仍然是具有(002)择优取向的六方纤锌矿结构. |
| 关 键 词： | ZnO薄膜 溶胶-凝胶法 晶体结构 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |