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| 为首都四化多做贡献——我校十七项科研成果荣获北京市奖励 | |
| 作者姓名： | 柯果 |
| 摘 要： | 3月16日北京市举行1980年科技成果发奖大会。市委、市政府领导同志段君毅、焦若愚等向获奖单位颁发了荣誉奖状。我校申报的应用技术方面的科研成果中,有17项荣获奖励,其中,一等奖一项(全市共三项),二等奖六项,三等奖十项,另有学术成果奖(论文)两项。 荣获一等奖的“自动对准投影光刻机”是提高大规模集成电路成品率的关键设备之一,技术难度大,价格昂贵,国外还对我国禁运,精密仪器系在1413所等单位协作下,在四机部和北京市直接关怀下,自力更生、独立自主地研制成功,填补了国内空白,主要技术指标达到国际先进水平,并有一定的独创性。另一项一… |
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