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使用PSD的高精度三维测量探头的研究
引用本文:朱立峰 吴易明 陈良益 赵天宇 刘宇波. 使用PSD的高精度三维测量探头的研究[J]. 科学技术与工程, 2007, 7(16): 4140-4142
作者姓名:朱立峰 吴易明 陈良益 赵天宇 刘宇波
作者单位:1. 中国科学院研究生院,北京,100039
2. 中国科学院西安光学精密机械研究所,西安,710119
3. 中国科学院西安光学精密机械研究所,西安,710119;中国科学院研究生院,北京,100039
摘    要:在三维测量领域中,作为后起之秀的光学式非接触测量,与传统的接触式测量相比,具有测量速度快,工作距离大,受环境电磁场影响小等缺点,但同时也暴露出精度不高,易受被测物体表面影响等缺点。在分析其原理的基础上,提出一套新的方案,将使用位置敏感探测器的光学式三维测量探头的检测与光源控制集成为一个联系紧密的系统。利用这种方法可以在很大程度上克服光学式非接触测量探头在实际应用中遇到的困难。

关 键 词:位置敏感探测器  三维测量  半导体激光器
文章编号:1671-1819(2007)16-4140-03
修稿时间:2007-04-16

Research on High Precision 3D Measurement Detector Using PSD
ZHU Li-feng,WU Yi-ming,CHEN Liang-yi,ZHAO Tian-yu,Liu Yu-bo. Research on High Precision 3D Measurement Detector Using PSD[J]. Science Technology and Engineering, 2007, 7(16): 4140-4142
Authors:ZHU Li-feng  WU Yi-ming  CHEN Liang-yi  ZHAO Tian-yu  Liu Yu-bo
Abstract:Optical non-contact measurement in the field of 3D measurement has greatly developed in the last 20 years. Although this technology has achieved great success, its precision is not good enough and it is easy to be effected by the characteristics of measured physical surface. A new schedule is proposed by integrating the measurement module and light source module into one system. Some difficulties while using optical non-contact measurement can be conquered by this new technology.
Keywords:PSD(position sensitive detector) 3D measurement LD(laser diode)
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