| 对综合应用PSD、CCD的双三角探头的研究 |
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| 引用本文： | 赵天宇 吴易明 陈良益 朱立峰 刘宇波. 对综合应用PSD、CCD的双三角探头的研究[J]. 科学技术与工程, 2007, 7(21): 5679-56805726 |
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| 作者姓名： | 赵天宇 吴易明 陈良益 朱立峰 刘宇波 |
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| 作者单位： | 中国科学院西安光学精密机械研究所,西安,710119;中国科学院研究生院,北京,100039;中国科学院西安光学精密机械研究所,西安,710119 |
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| 摘 要： | 论述了PSD和CCD应用于双三角探头的初步设计思路,详细介绍了二者的信号处理电路,并且对二者在应用于位置测量的各方面的性能进行了对比。最后,提出了需要解决的问题。
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| 关 键 词： | 双三角探头 PSD CCD 分辨率 线性度 |
| 文章编号： | 1671-1819（2007）21-5679-03 |
| 修稿时间： | 2007-06-07 |
Research on Double-triangulation Probe Applying PSD and CCD Synthetically |
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| ZHAO Tian-yu,WU Yi-ming,CHEN Liang-yi,ZHU Li-feng,LIU Yu-bo. Research on Double-triangulation Probe Applying PSD and CCD Synthetically[J]. Science Technology and Engineering, 2007, 7(21): 5679-56805726 |
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| Authors: | ZHAO Tian-yu WU Yi-ming CHEN Liang-yi ZHU Li-feng LIU Yu-bo |
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| Abstract: | A junior design idea how to apply synthetically is discussed mainly PSD and CCD in double-triangulation probe is discussed mainly.Their signal process circuits are introduced detailedly.And their respective characteristics are compared in measuring displacement.At the end some problems to be solved are advanced. |
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| Keywords: | double-triangulation probe PSD CCD resolving power linearization |
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