| 溅射参数对Fe-Si化合物的相形成及结构的影响 |
| |
| 引用本文： | 张晋敏,谢泉,梁艳,曾武贤.溅射参数对Fe-Si化合物的相形成及结构的影响[J].四川师范大学学报(自然科学版),2008,31(5). |
| |
| 作者姓名： | 张晋敏 谢泉 梁艳 曾武贤 |
| |
| 作者单位： | 贵州大学,电子科学与信息技术学院,贵州,贵阳,550025 |
| |
| 基金项目： | 教育部留学回国人员科研启动基金，贵州省自然科学基金，贵阳市科技局大学生创业科技项目 |
| |
| 摘 要： | 对直流磁控溅射方法制备Fe—Si化合物的工艺过程进行了研究．首先通过改变溅射气压，溅射功率和Ar气流量，在Si（100）衬底上沉积约100nm纯金属Fe膜，随后在真空退火炉中800℃长时间退火形成Fe—si化合物．由X射线衍射（XRD）对所形成的Fe—Si化合物的物相和晶体结构进行分析，给出了一组最优化的溅射工艺参数：溅射Ar气压1．5Pa，溅射功率100W，溅射Ar气流量20SCCM．
|
| 关 键 词： | 磁控溅射 溅射参数 Fe—Si化合物 X-射线衍射 晶体结构 |
The Influences of Sputtering Parameters on Formation and Structure of Fe-Si Compounds |
| |
| ZHANG Jin-min,XIE Quan,LIANG Yan,ZENG Wu-xian.The Influences of Sputtering Parameters on Formation and Structure of Fe-Si Compounds[J].Journal of Sichuan Normal University(Natural Science),2008,31(5). |
| |
| Authors: | ZHANG Jin-min XIE Quan LIANG Yan ZENG Wu-xian |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
