| 真空封装的硅微陀螺仪 |
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| 引用本文： | 杨波,周百令.真空封装的硅微陀螺仪[J].东南大学学报(自然科学版),2006,36(5):736-740. |
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| 作者姓名： | 杨波 周百令 |
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| 作者单位： | 东南大学仪器科学与工程系,南京,210096 |
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| 摘 要： | 研究了一种硅微陀螺仪,为了提高品质因数,将其封装在15.5 mm×6 mm的真空腔内.采用一种新方式实现了闭环自激驱动,该方式解耦了闭环驱动的相角和增益条件;优化设计了接口线路,消除了大部分耦合电容;推导开环检测时传递函数、静态灵敏度、带宽的表达式,并分析其影响因素.实验结果表明:驱动频率在1 h内相对变化量为0.000 22%;1 h内驱动幅度相对变化量为0.001 5%;标度因数为12 mV/(°.s-1),线性度为0.075 8%,陀螺输出信号噪声低于31.6μV/Hz12.
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| 关 键 词： | 硅微陀螺仪 自激驱动 接口线路 |
| 文章编号： | 1001-0505（2006）05-0736-05 |
| 收稿时间： | 02 27 2006 12:00AM |
| 修稿时间： | 2006-02-27 |
Vacuum packaged silicon micromachined gyroscope |
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| Yang Bo,Zhou Bailing.Vacuum packaged silicon micromachined gyroscope[J].Journal of Southeast University(Natural Science Edition),2006,36(5):736-740. |
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| Authors: | Yang Bo Zhou Bailing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | silicon micromachined gyroscope self-oscillation-driven interface circuit |
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