| 氧氩流量比对氧化铋纳米薄膜微结构及光电性能的影响研究 |
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| 引用本文： | 陈真英,周际越,邓文,彭富平. 氧氩流量比对氧化铋纳米薄膜微结构及光电性能的影响研究[J]. 广西大学学报(自然科学版), 2021, 46(6): 1620-1627. DOI: 10.13624/j.cnki.issn.1001-7445.2021.1620 |
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| 作者姓名： | 陈真英 周际越 邓文 彭富平 |
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| 作者单位： | 北部湾大学 理学院,广西 钦州 535011;广西大学 物理科学与工程技术学院,广西 南宁 530004 |
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| 摘 要： | 为了制备出不同光电性能的氧化铋薄膜,并明晰其性能机理,以便后续研究与氧化锌薄膜复合成压敏薄膜.采用磁控溅射法,改变溅射气氛中氧气和氩气的流量比,在玻璃衬底上制备出了三个氧化铋薄膜样品,并对其微观形貌、结构及光电性能进行了测试分析.结果表明:溅射气氛中的氧氩流量比对薄膜微结构及光电性能影响显著;不同氧氩流量比制备的Bi2...
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| 关 键 词： | 氧化铋薄膜 磁控溅射 氧氩流量比 微结构 光电性能 |
Influence of the flow ratio of oxygen to argon on Microstructure and Photoelectric properties of bismuth oxide nano-films |
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| CHEN Zhen-ying,ZHOU Ji-yue,DENG Wen,PENG Fu-ping. Influence of the flow ratio of oxygen to argon on Microstructure and Photoelectric properties of bismuth oxide nano-films[J]. Journal of Guangxi University(Natural Science Edition), 2021, 46(6): 1620-1627. DOI: 10.13624/j.cnki.issn.1001-7445.2021.1620 |
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| Authors: | CHEN Zhen-ying ZHOU Ji-yue DENG Wen PENG Fu-ping |
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