二氧化锡薄膜的PECVD制备的特性 |
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引用本文: | 刘彭义,陈俊芳.二氧化锡薄膜的PECVD制备的特性[J].暨南大学学报,1997,18(3):48-51. |
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作者姓名: | 刘彭义 陈俊芳 |
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作者单位: | [1]暨南大学物理系 [2]华南师范大学量子电子研究所 |
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摘 要: | 用PECVD方法制备出二氧化锡薄膜,利用双探针技术诊断出等子体反应器内电子密度的分布,并分析了它对薄膜电阻的影响,透射电镜分析表明随沉积温度升高,二氧化锡薄膜从非晶态转变为多晶态,其电阻庇随之减小,掺锑的二氧化锡薄膜对石油液化气和酒精具有良好的气敏效应。
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关 键 词: | 二氧化锡薄膜 透射电镜 气敏性 PECVD法 |
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