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| 升温过程和气压在近空间升华沉积CdTe多晶薄膜中的作用 | |
| 引用本文： | 郑华靖,郑家贵,冯良桓,谢二庆.升温过程和气压在近空间升华沉积CdTe多晶薄膜中的作用[J].兰州大学学报(自然科学版),2006,42(2):60-64. |
| 作者姓名： | 郑华靖 郑家贵 冯良桓 谢二庆 |
| 作者单位： | 1. 兰州大学,物理科学与技术学院,甘肃,兰州,730000;四川大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610064 2. 四川大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610064 3. 兰州大学,物理科学与技术学院,甘肃,兰州,730000 |
| 基金项目： | 国家科技攻关项目，科技部科研项目 |
| 摘 要： | 近空间升华技术制备CdTe多晶薄膜具有薄膜质量好、沉积速率高、设备简单、生产成本低等优点.采用近空间升华法(CSS)制备的CdTe多晶薄膜,薄膜的结构、性质与整个沉积过程密切相关,其过程受到较多因素的影响.要实现对沉积过程的控制,必须对沉积过程中的热交换、物质输运进行深入的研究.分析近空间沉积的物理机制,通过对装置内的温度进行测量,对升温曲线进行实验研究,优选了温度分布与升温曲线,研究了气压对CdTe薄膜结构、性质的影响.讨论了升温过程、气压与薄膜的初期成核的关系.结果表明:不同气压下沉积的样品均为立方相CdTe,且还出现CdS和SnO2:F的衍射峰,随着气压增加,CdTe晶粒减小,薄膜的透过率下降,相应的吸收边向短波方向移动.采用衬底温度500℃,源温度620℃,沉积时间4min的沉积条件获得了性能优良的CdTe多晶薄膜. |
| 关 键 词： | CdTe多晶薄膜 近空间升华 太阳电池 升温过程 |
| 文章编号： | 0455-2059（2006）02-0060-05 |
| 收稿时间： | 2004-12-30 |
| 修稿时间： | 2004-12-30 |
Effect of increasing temperature process and atmosphere pressure on CdTe poly crystalline thin films in close-spaced sublimation |
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| ZHENG Hua-jing,ZHENG Jia-gui,FENG Liang-huan,XIE Er-qing.Effect of increasing temperature process and atmosphere pressure on CdTe poly crystalline thin films in close-spaced sublimation[J].Journal of Lanzhou University(Natural Science),2006,42(2):60-64. | |
| Authors: | ZHENG Hua-jing ZHENG Jia-gui FENG Liang-huan XIE Er-qing |
| Institution: | 1. School of Physical Science and Tcchnology, Lanzhou University, Lanzhou 730000, China; 2, College of Materials Science and Engineering, Sichuan University, Chengdu 610064, China |
| Abstract: | |
| Keywords: | CdTe poly crystalline thin film close-spaced sublimation solar cell increasing temperature process |
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