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| SnO2光透射率气敏薄膜的制备和研究 | |
| 引用本文： | 边志华,郭竹远,刘瑞丽,吴东.SnO2光透射率气敏薄膜的制备和研究[J].太原理工大学学报,2004,35(6):684-686. |
| 作者姓名： | 边志华 郭竹远 刘瑞丽 吴东 |
| 作者单位： | 1. 太原理工大学,图书馆,山西,太原,030024 2. 太原理工大学,理学院,山西,太原,030024 3. 中国科学院煤炭化学研究所,山西,太原,030001 |
| 基金项目： | 山西省自然科学基金资助项目(20021053) |
| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶技术，利用旋转涂膜法制备二氧化锡薄膜。结果发现，常温下在含有CO的气氛中光通过薄膜的透射率变大，对CO有较高的灵敏度。并对制备过程中出现的实验现象、制备机理及薄膜的结构和特性进行了分析和研究。 |
| 关 键 词： | 二氧化锡 气敏 薄膜 光透射率 溶胶-凝胶法 |
| 文章编号： | 1007-9432(2004)06-0684-03 |
| 修稿时间： | 2004年3月11日 |
Preparation and Study of Transmittance Gas Sensitive SnO2 Thin Film |
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| BIAN Zhi-hua,GUO Zhu-yuan,LIU Rui-li,WU Dong.Preparation and Study of Transmittance Gas Sensitive SnO2 Thin Film[J].Journal of Taiyuan University of Technology,2004,35(6):684-686. | |
| Authors: | BIAN Zhi-hua GUO Zhu-yuan LIU Rui-li WU Dong |
| Institution: | BIAN Zhi-hua~1,GUO Zhu-yuan~2,LIU Rui-li~3,WU Dong~3 |
| Abstract: | We prepared the suspension of SnO_2 by the sol-gel process,then it was prepared into thin film by spin-coat process. At the room temperature, in the atmosphere containing CO, light transmittance through the film becomes bigger, showing that by the higher sensitivity to CO. The experimental circumstances, the preparing mechanism, and the structure and characteristics of the thin film in the process are studied. |
| Keywords: | SnO_2 gas sensitive thin film transmittance sol-gel method |
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