| 激光脉冲法研究多孔SiO2薄膜的纵向热导率 |
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| 引用本文： | 刘芸. 激光脉冲法研究多孔SiO2薄膜的纵向热导率[J]. 西安交通大学学报, 1998, 32(9): 105-108 |
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| 作者姓名： | 刘芸 |
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| 作者单位： | 西安交通大学!710049，西安，西安交通大学!710049，西安，西安交通大学!710049，西安，西安交通大学!710049，西安，西安交通大学!710049，西安 |
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| 基金项目： | 国家“八六三”高技术新材料领域研究资助!项目 (86 3 715 0 5 0 1 0 3) |
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| 摘 要： | 采用激光脉冲法成功地测量了Si基底上多孔SiO2 薄膜的纵向热导率 .致密SiO2 薄膜的热导率测试数据与已有多篇文献报导值一致 .对多孔SiO2 薄膜的热导率测试结果表明 :薄膜化有利于降低材料的热导率 ,提高隔热效果 ;随着孔率增大 ,薄膜热导率明显下降 ;溶胶 凝胶法制备的孔率为 4 0 %的SiO2 多孔薄膜的热导率为 0 11W /m·K ,属隔热材料 .
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| 关 键 词： | 激光脉冲法 多孔膜 二氧化硅膜 纵向热导率 |
Thermal Conductivity of Porous SiO_2 Films on Silicon Substrate by Laser Flashing |
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| Liu Yun Shi Wensheng Ren Wei Zhang Liangying Yao Xi. Thermal Conductivity of Porous SiO_2 Films on Silicon Substrate by Laser Flashing[J]. Journal of Xi'an Jiaotong University, 1998, 32(9): 105-108 |
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| Authors: | Liu Yun Shi Wensheng Ren Wei Zhang Liangying Yao Xi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | laser flash method porous film SiO 2 films longitudinal thermal conductivity |
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