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二十微微秒开关隧道二极管的研制
作者姓名:
陆大荣
作者单位:
山东大学物理系半导体教研室隧道二极管研制组
摘 要:
本文简述了隧道二极管的工作原理,分析了用作高速脉冲讯号源用的隧道二极管的若干基本要求,探讨了制备成所需指标的可能工艺,指出了用平面工艺可以完成性能甚为优越的超高速开关锗隧道二极管,给出了基本工艺条件及试制的初步结果,表明了用平面工艺可制备成当前最快速脉冲讯号源用的开关隧道管。
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