| 非均匀电场中电子在H2/CH4混合气体中运动的数值模拟 |
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| 作者单位： | 辛红丽（河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002）;韩佳宁（河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002）;赵庆勋（河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002）;文钦若（河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002） |
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| 基金项目： | 河北省自然科学基金资助项目(599091) |
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| 摘 要： | 用Monte
Carlo数值模拟方法研究了辉光等离子体辅助化学气相沉积法(GPCVD)低温合成金刚石的过程中,电子在H2/CH4混合气体中的运动.本文在数值模拟中,采用非匀强电场,并考虑了电子的雪崩过程,实现了对须跟踪的粒子数不断增长的系统的Monte
Carlo模拟,给出了电子的能量分布及角分布.
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| 关 键 词： | Monte Carlo方法 等离子体 电子运动 |
| 文章编号： | 1000-1565(2001)04-0381-04 |
| 修稿时间： | 2001年10月11 |
Numerical Simulation of Electron Motion in the Mixture of H2/CH4
in a Non-uniform Field |
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