位置敏感器件(PSD)的杂光干扰研究 |
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作者姓名: | 王广志 丁海曙 丁辉 |
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作者单位: | 清华大学电机工程与应用电子技术系 |
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摘 要: | 光电位置敏感器件(PSD)是一种可直接对其光敏面上的光斑位置进行检测的光电器件,基于PSD可构成多种非接触的高精度动态位移监测仪器。在PSD器件使用中的一个关键问题是如何克服各种杂光干扰,以提高检测的精度和可靠性。根据PSD的原理及其特征方程,分析了杂光在PSD上的两类作用模式,并根据PSD特征方程推导了存在杂光干扰时PSD输出信号与杂光的关系,及杂光导致的位置误差方程。根据上述推导,文章给出了3种克服杂光干扰的实用方法。
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关 键 词: | 光电器件;位置检测;杂光干扰;光电位置敏感器件PSD |
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