| 改建CVD系统制备金刚石薄膜 |
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| 引用本文： | 吴小国,曲长庆,朱宁,陈希明,常明.改建CVD系统制备金刚石薄膜[J].天津理工大学学报,2002,18(2):5-6. |
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| 作者姓名： | 吴小国 曲长庆 朱宁 陈希明 常明 |
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| 作者单位： | 天津理工学院,光电信息与电子工程系,天津,300191 |
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| 基金项目： | 国家教育部重点基金资助项目 (0 0 134)，天津自然科学基金重点资助项目 (0 0 380 0 2 11) |
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| 摘 要： | 用一台常规的真空镀膜机改建为化学气相沉积 (CVD)系统 ,并用以制备金刚石薄膜 .采用SEM、XRD、Raman测试表明 ,金刚石薄膜质量较好 .
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| 关 键 词： | 化学气相沉积(CVD) 金刚石薄膜 Raman光谱 X射线衍射 |
| 文章编号： | 1004-2261(2002)02-005-02 |
| 修稿时间： | 2002年1月16日 |
Rebuilding CVD system for preparing diamond films |
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| WU Xiao guo,QU Chang qing,ZHU Ning,CHEN Xi ming,CHANG Ming.Rebuilding CVD system for preparing diamond films[J].Journal of Tianjin University of Technology,2002,18(2):5-6. |
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| Authors: | WU Xiao guo QU Chang qing ZHU Ning CHEN Xi ming CHANG Ming |
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| Abstract: | Chemical Vapor Deposition (CVD) system with vacuum plating equipment was rebuilt,and in the prepareation of diamond films by it.Results indicate that the films of the structure of diamond by using SEM,XRD,Ramam is better. |
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| Keywords: | chemical vapor deposition(CVD) diamond film raman XRD |
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