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| SnO2:Sb:Ni低温气敏薄膜的制备及性能研究 | |
| 引用本文： | 曹妩媚,刘祖黎,姚凯伦. SnO2:Sb:Ni低温气敏薄膜的制备及性能研究[J]. 华中科技大学学报(自然科学版), 2001, 29(9): 99-102 |
| 作者姓名： | 曹妩媚 刘祖黎 姚凯伦 |
| 作者单位： | 华中科技大学物理系 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(19775016). |
| 摘 要： | 以无机盐SnCl4·5H2O,SbCl5,NiCl2· |
| 关 键 词： | sol－gel工艺 气敏薄膜 电学性能 SnO2：Sb：Ni薄膜 二氧化锡薄膜 掺杂 锑 镍 气敏性能 |
| 文章编号： | 1000-8616(2001)09-0099-04 |
Preparation of NOx Sensitive SnO2:Sb:Ni sol-gel Thin Film at Low Temperature and Its Properties |
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