| 镀膜玻璃膜层的针孔和结合力 |
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| 引用本文： | 龚建华,杨有财,张永胜.镀膜玻璃膜层的针孔和结合力[J].合肥工业大学学报(自然科学版),2008,31(4):580-584. |
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| 作者姓名： | 龚建华 杨有财 张永胜 |
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| 作者单位： | 合肥工业大学,机械与汽车工程学院,安徽,合肥,230009 |
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| 摘 要： | 真空镀膜是材料表面改性的一个重要方面,目前已形成了一个巨大的产业,因此其质量的监控显得尤为重要.真空镀膜膜层质量涉及结构、理化及功能等方面.而在玻璃、亚克力等透明基片上用磁控溅射方法大面积沉积的膜层,针孔和结合力是一个令人关注的问题.文章针对针孔出现的机理,较详细地讨论了消除或减少针孔的有效方法;分析了影响膜层结合力的各种因素,指出了入射粒子能量和基体作用力的性质是影响膜层结合力的重要因素,同时,膜层与界面的形态也强烈地影响到结合力的强弱.据此,从工艺和膜层结构方面提出了增强膜层结合力的方法和措施.
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| 关 键 词： | 镀膜 针孔 结合力 |
| 文章编号： | 1003-5060(2008)04-0580-05 |
| 修稿时间： | 2007年3月13日 |
Pin-holes and the coherence of the film on coated glass |
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| GONG Jian-hua,YANG You-cai,ZHANG Yong-sheng.Pin-holes and the coherence of the film on coated glass[J].Journal of Hefei University of Technology(Natural Science),2008,31(4):580-584. |
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| Authors: | GONG Jian-hua YANG You-cai ZHANG Yong-sheng |
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