| 单次扫描技术确定金属薄膜的厚度和介电常数 |
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| 引用本文： | 曹庄琪,沈启舜,丁渊,桑明煌,袁文,肖平平,徐红萍.单次扫描技术确定金属薄膜的厚度和介电常数[J].江西师范大学学报(自然科学版),2003,27(3):189-192. |
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| 作者姓名： | 曹庄琪 沈启舜 丁渊 桑明煌 袁文 肖平平 徐红萍 |
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| 作者单位： | 1. 上海交通大学,物理系,上海,200240
2. 江西师范大学,物理与通信电子学院,江西,南昌,330027 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点项目(60237010) |
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| 摘 要： | 该文提出了一种改进的衰减全反射结构，并用单个激光光束同时激发了表面等离子波和修正的长程表面等离子波，根据反射率曲线中这两个等离子波的吸收峰，可直接确定结构中金属薄膜的厚度和介电常数。
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| 关 键 词： | 金属薄膜 厚度 介电常数 单次扫描技术 表面等离子波 衰减全反射结构 测量原理 |
| 文章编号： | 1000-5862(2003)03-0189-04 |
| 修稿时间： | 2003年4月6日 |
Single- Scan Technigue for Determination of the Thickness and Optical Constants of Thin Metal Films |
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| Abstract: | A novel method with single-wavelength light is proposed to determine the optical constants and the thickness of a thin metal film. It bases on an improved Attenuated Total Reflection geometry in which a conventional surface plasmon and a modified long-range surface plasmon can be exicted at the same time. |
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| Keywords: | surface plasmon wave attenuated total reflection |
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