| 半导体技术的回顾与展望 |
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| 引用本文： | 周如培,李恩玲,冯同鑫. 半导体技术的回顾与展望[J]. 西安理工大学学报, 2000, 16(4): 412-416 |
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| 作者姓名： | 周如培 李恩玲 冯同鑫 |
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| 作者单位： | 西安理工大学自动化与信息工程学院,陕西,西安,710048 |
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| 摘 要： | 简要回顾了半导体技术在五十多年的发展历史，介绍了晶体管、集成电路、功能半导体器件以及半导体材料的研究发展过程和当前的水平，并展望２１世纪初半导体技术的发展方向及其在信息社会中将起的作用。
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| 关 键 词： | 半导体技术 半导体材料 纳米电子器件 VLSI技术 |
| 修稿时间： | 2000-04-06 |
Review and Prospect for Semiconductor Technology |
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| ZHOU Ru-pei,LI En-ling,FENG Tong-xin. Review and Prospect for Semiconductor Technology[J]. Journal of Xi'an University of Technology, 2000, 16(4): 412-416 |
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| Authors: | ZHOU Ru-pei LI En-ling FENG Tong-xin |
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