| Ti—B—N纳米复合薄膜的制备及结构和力学性能 |
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| 引用本文： | 罗庆洪,娄艳芝,李春志,陆永浩. Ti—B—N纳米复合薄膜的制备及结构和力学性能[J]. 北京科技大学学报, 2011, 0(8): 1001-1005 |
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| 作者姓名： | 罗庆洪 娄艳芝 李春志 陆永浩 |
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| 作者单位： | 北京航空材料研究院;北京科技大学材料科学与工程学院 |
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| 摘 要： | 利用反应磁控溅射方法在(100)单晶硅和高速钢(W18Cr4V)基片上制备出不同B含量的Ti--B--N纳米复合薄膜.使用X射线衍射(XRD)和高分辨透射电镜(HRTEM)研究了Ti--B--N纳米复合薄膜的组织结构,并用纳米压痕仪测试了它们的纳米硬度和弹性模量.结果表明:通过改变TiB2靶功率和Ti靶功率的方法可制备出非晶--纳米晶复合结构的Ti--B--N薄膜;Ti--B--N薄膜中主要含有TiN纳米晶,随着B含量的增加,形成的TiN纳米晶尺寸变小,非晶成分增加;当B含量很高时会出现很小的TiB2纳米晶,此时薄膜性能不好;当TiN晶粒尺寸为5 nm左右时,Ti--B--N薄膜力学性能最优,纳米硬度和弹性模量分别达到32.7 GPa和350.3 GPa.
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| 关 键 词： | 纳米复合薄膜 磁控溅射 微观结构 力学性能 |
Preparation,microstructure and mechanical properties of Ti-B-N nanocomposite coatings |
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| LUO Qing-hong,LOU Yan-zhi,LI Chun-zhi,LU Yong-hao. Preparation,microstructure and mechanical properties of Ti-B-N nanocomposite coatings[J]. Journal of University of Science and Technology Beijing, 2011, 0(8): 1001-1005 |
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| Authors: | LUO Qing-hong LOU Yan-zhi LI Chun-zhi LU Yong-hao |
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| Affiliation: | 1) Beijing Institute of Aeronautical Materials,Beijing 100095,China 2) School of Materials Science and Engineering,University of Science and Technology Beijing,Beijing 100083,China |
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