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脉冲电阳极腐蚀纳米多孔硅的蓝光发射
引用本文:张亚增 彭德应. 脉冲电阳极腐蚀纳米多孔硅的蓝光发射[J]. 四川师范大学学报(自然科学版), 1996, 19(5): 70-72
作者姓名:张亚增 彭德应
作者单位:[1]安徽师范大学物理系 [2]上海第二教育学院
摘    要:用直流叠加方波脉冲电流阳极腐蚀法制得了多孔硅(PS),样品经XeCl准分子激光器的308nm激光的激发,获得了中心波长为462nm,半高宽为126nm的蓝色光致发光(PL)谱、PS断透射电(TEM)分析发现有nm量级的Si原子团组成的一维量子线(柱)阵列的三维量子海棉结构,由此带来的量子约束和表面效应恰好说明了PL谱的实验结果。

关 键 词:脉冲电阳极腐蚀 多孔硅 光致发光 半导体 硅

BLUE PHOTOLUMINESCENCE OF ANODE ETCHED nm POROUS Si FORMED BY SQUARE IMPULSES CURRENT
Zhang Yazeng. BLUE PHOTOLUMINESCENCE OF ANODE ETCHED nm POROUS Si FORMED BY SQUARE IMPULSES CURRENT[J]. Journal of Sichuan Normal University(Natural Science), 1996, 19(5): 70-72
Authors:Zhang Yazeng
Abstract:
Keywords:Impulses current anode etched   Porous Si   Photoluminescence
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