| 沉积温度对AlTiN/AlTiSiN多层复合涂层的影响 |
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| 引用本文： | 张雅倩,刘艳梅,王重阳,黄美东,范其香,曹凤婷,王铁钢.沉积温度对AlTiN/AlTiSiN多层复合涂层的影响[J].天津师范大学学报(自然科学版),2023(3):19-25. |
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| 作者姓名： | 张雅倩 刘艳梅 王重阳 黄美东 范其香 曹凤婷 王铁钢 |
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| 作者单位： | 1. 天津职业技术师范大学天津市高速切削与精密加工重点实验室;2. 天津师范大学物理与材料科学学院 |
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| 基金项目： | 天津市教委科研计划重点项目（2021ZD005）； |
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| 摘 要： | 为了优化AlTiN和AlTiSiN的沉积温度，兼顾2种涂层的性能，采用电弧离子镀膜技术，在不同沉积温度下，制备一系列AlTiN/AlTiSiN多层复合涂层，并采用SEM、XRD、EDS、纳米压痕仪、划痕仪、摩擦磨损试验机和轮廓仪等仪器对复合涂层的微观结构、力学性能以及摩擦学性能进行表征和测试，探究沉积温度对AlTiN/AlTiSiN多层复合涂层的影响.结果表明：(1)随着沉积温度升高，多层复合涂层的表面质量逐渐改善，组织结构更加致密；(2)随着沉积温度升高，涂层的纳米硬度和膜基结合强度先增大后减小，摩擦系数和磨损率先减小后增大；(3)当沉积温度为430℃时，涂层综合性能最好，硬度为30.9GPa，临界载荷为89N，摩擦系数为0.72，磨损率为7.1×10-3μm3/(N·μm).
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| 关 键 词： | AlTiN/AlTiSiN多层复合涂层 沉积温度 微观结构 力学性能 摩擦学性能 |
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