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| 纳米硅薄膜的扫描隧道显微镜研究 | |
| 引用本文： | 王忠怀.纳米硅薄膜的扫描隧道显微镜研究[J].科学通报,1993,38(21):1953-1953. |
| 作者姓名： | 王忠怀 |
| 作者单位： | 中国科学院化学研究所，中国科学院化学研究所，中国科学院化学研究所，中国科学院化学研究所，北京航空航天大学非晶态物理研究室 北京 100080，北京 100080，北京 100080，北京 100080，北京 100083 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，中国科学院重大资助项目 |
| 摘 要： | 纳米硅薄膜(nc-Si:H)是由纳米尺寸超细微晶粒构成的一种纳米材料。其晶粒所占体积百分比为50％,其它50％则为大量晶粒之间的界面原子所占据,而界面对纳米材料的结构和物性具有重要作用。由于纳米硅薄膜结构上的新颖性,使它具有一系列不同于同类物质晶态材料或非晶态材料的特殊性能,有利于在器件中的应用。 |
| 关 键 词： | STM 硅 薄膜 纳米硅 |
| 收稿时间： | 1993-03-19 |
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