应用离子束刻蚀技术提高石英晶体谐振器基频的研究 |
| |
引用本文: | 雷震寰,迟洪广.应用离子束刻蚀技术提高石英晶体谐振器基频的研究[J].山东大学学报(理学版),1983(4). |
| |
作者姓名: | 雷震寰 迟洪广 |
| |
作者单位: | 山东大学物理系
(雷震寰),山东大学物理系(迟洪广) |
| |
摘 要: | 本文介绍应用离子束刻蚀技术减薄石英晶片,把石英晶体谐振器的基频提高到60~300MH_z。给出了基频及其泛音的动态参数。谐振器具有较小的等效电阻,一般为15~50欧姆(基频),较高的Q值,一般为20000~70000(基频),较好的频谱特性,正常的频率温度特性和良好的机械强度。
|
本文献已被 CNKI 等数据库收录! |
|