| 基于时间平均干涉法的微结构离面运动测量 |
| |
| 引用本文： | 陈津平,郭彤,胡春光,栗大超,胡晓东,傅星,胡小唐.基于时间平均干涉法的微结构离面运动测量[J].天津大学学报(自然科学与工程技术版),2006,39(Z1):125-128. |
| |
| 作者姓名： | 陈津平 郭彤 胡春光 栗大超 胡晓东 傅星 胡小唐 |
| |
| 作者单位： | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津300072 |
| |
| 基金项目： | 国家863计划项目(2004AA404042)，博士后科学基金项目资助． |
| |
| 摘 要： | 微机电系统(MEMS)动态特性的测量在MEMS研发过程中具有极为重要的地位．提出一种用于微结构离面运动快速测量的光学测试系统及方法．该系统基于Mirau显微干涉技术,以时间平均干涉法实现可动微结构离面动态特性的测量．系统采用4步相移调制方法得到调制干涉条纹对比度的零级Bessel函数分布．在微谐振器件上进行的实验说明系统可以测量任意频率的离面运动,水平分辨力在微米范围内,离面探测极限在5nm左右．
|
| 关 键 词： | 微结构 时间平均干涉法 离面运动 快速测量 |
| 文章编号： | 0493-2137(2006)增刊-0125-04 |
| 修稿时间： | 2005年10月28 |
Out-of-Plane Motion Measurement Method of Micro-Structures Based on Time-Averaged Interferometry |
| |
| CHEN Jin-ping GUO Tong HU Chun-guang LI Da-chao HU Xiao-dong FU Xing HU Xiao-tang.Out-of-Plane Motion Measurement Method of Micro-Structures Based on Time-Averaged Interferometry[J].Journal of Tianjin University(Science and Technology),2006,39(Z1):125-128. |
| |
| Authors: | CHEN Jin-ping GUO Tong HU Chun-guang LI Da-chao HU Xiao-dong FU Xing HU Xiao-tang |
| |
| Abstract: | An optical measurement system and method for out-of-plane motion testing of micro-structure are presented in the paper.Based on the Mirau microscopic interferometry and time-averaged interferometry,the system realize the measurement of the out-of-plane dynamic properties of movable micro-structures.To map the zero-order Bessel function modulating the contrast of two-beam interference fringes,the 4-step phase-shift tech- nique is applied.The experiment on a micro-resonator demonstrates that out-of-plane motion can be measured at any frequency with a lateral resolution in the micron range and a detection limit around 5 nm. |
| |
| Keywords: | micro-structure time-averaged interferometry out-of-plane motion rapid measurement |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
